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1200℃高真空迷你CVD設(shè)備該組CVD設(shè)備為小型化CVD系統(tǒng)，核心是一款迷你管式爐，采用電阻絲加熱，設(shè)備*高溫度可達(dá)1200℃。儀器還包含一臺三路浮子流量計，一臺分子泵組，分別構(gòu)成了CVD的進(jìn)氣和出氣部分。
特點
1. 爐管右側(cè)有數(shù)顯真空計，用以控制爐管內(nèi)部的真空度和氣氛環(huán)境。
2. 系統(tǒng)采用PID智能控溫，控溫精度能達(dá)到±1℃。
3. 管式爐在操作上采用溫控表操作，可預(yù)設(shè)控溫曲線，
4. 一鍵啟停，便于使用，能夠簡化實驗操作進(jìn)而節(jié)約試驗時間。
5. 高真空分子泵組可以有效提高本低真空度，提高反應(yīng)產(chǎn)物的質(zhì)量。
技術(shù)參數(shù)：
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1200℃迷你管式爐 |
供電電壓 | AC220V,50Hz |
| 功率 | 2KW max | |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)200mm | |
| 恒溫區(qū)長 | 100mm | |
| 加熱元件 | 耐熱合金絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
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工作溫度 |
≤1150℃ |
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升溫速率 |
建議≤10℃/min |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線，帶有過熱和斷偶保護(hù) |
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爐管材質(zhì) |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
φ50mm O.D x 450mm L |
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真空泵 |
機械泵 抽速1.1L/s |
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極限真空 |
5Pa |
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三路浮子流量計 |
閥門類型 |
不銹鋼針閥 |
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氣路數(shù)量 |
三路 |
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承壓范圍 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
160 SCCM (Air) |
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混氣罐容積 |
750mL |
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氣路材料 |
304不銹鋼 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接頭 |
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分子泵組參 |
產(chǎn)品型號 |
CY-GZK103-A |
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分子泵 |
渦輪分子泵 |
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前極泵 |
雙極旋片泵 |
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抽氣速率 |
分子泵：60L/S |
綜合抽氣性能： 30分鐘真空度可達(dá)：5×10E-3Pa |
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旋片泵：1.1L/S |
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極限真空 |
5×10E-4Pa |
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抽氣接口 |
KF40 |
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排氣接口 |
KF16 |
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真空測量 |
復(fù)合真空計 |
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