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    1200℃單溫區三通道混氣CVD系統采用全彩高清觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。系統所配有的三路浮子流量計,可以混合1~3路氣體,較為準確的配制出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正面,可以監測氣體壓力及混合槽壓力。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
1200℃單溫區三通道混氣CVD系統技術參數:
| 
					 項目  | 
				
					 明細  | 
			
| 
					 供電電壓  | 
				
					 AC220V,50Hz  | 
			
| 
					 MAX功率  | 
				
					 5KW  | 
			
| 
					 加熱溫區  | 
				
					 455mm  | 
			
| 
					 工作溫度  | 
				
					 1100℃ (1200℃<1h)  | 
			
| 
					 控溫精度  | 
				
					 ±1℃  | 
			
| 
					 升溫速率  | 
				
					 建議≤10℃/min  | 
			
| 
					 控溫方式  | 
				
					 AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條 三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護  | 
			
| 
					 爐管材質  | 
				
					 高純剛玉  | 
			
| 
					 爐管尺寸  | 
				
					 φ60mm O.D×1300mm L  | 
			
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					 氣體通道  | 
				
					 三通道質量流量計  | 
			
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					 氣體量程  | 
				
					 A:100sccm B:300sccm C:500sccm  | 
			
| 
					 系統真空  | 
				
					 5~10Pa(如需更高真空度可以選配其他的泵)  | 
			
    
    
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            