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    1200℃三溫區三通道混氣CVD系統采用全彩高清觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。系統所配有的三路浮子流量計,可以較為準確的配制出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正面,可以監測氣體壓力及混合槽壓力。
	適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
 
1200℃三溫區三通道混氣CVD系統技術參數:
	 
	 
						項目 
					 
						明細 
					 
						供電電壓 
					 
						AC220V,50Hz 
					 
						MAX功率 
					 
						5KW 
					 
						加熱溫區 
					 
						220mm+440mm+220mm 
					 
						工作溫度 
					 
						1100℃ (1200℃<1h) 
					 
						控溫精度 
					 
						±1℃ 
					 
						升溫速率 
					 
						建議≤10℃/min 
					 
						控溫方式 
					 
						AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條 
					 
						三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護 
					 
						爐管材質 
					 
						高純石英 
					 
						爐管尺寸 
					 
						φ60mm O.D×1300mm L 
					 
						氣體通道 
					 
						三通道質量流量計 
					 
						氣體量程 
					 
						A:100sccm   B:300sccm  C:500sccm 
					 
						系統真空 
					 
						5~10Pa(如需更高真空度可以選配其他的泵) 
					
		
			
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