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1200℃三溫區旋轉自動進出料CVD系統安裝有投料器和收料罐。1200℃三溫區旋轉自動進出料CVD系統投料器可以以額定速率將粉料送入爐管，可實現在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。
1200℃三溫區旋轉自動進出料CVD系統廣泛用于燒結無機化合物，通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉，使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果。
此款管式爐設計主要是在鋰離子電池的陰極材料（如LiFePO3, LiMnNiO3）上包覆導電層，同時也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。
1200℃三溫區旋轉自動進出料CVD系統技術參數：
真
空
管
式
爐
Max功率
4.5kw
爐管材質
外管不銹鋼，內管石英
爐管直徑
兩端60mm，中間100mm
爐管長度
1640mm
爐膛長度
1060mm
加熱區長
200mm+200mm+200mm
恒溫區長
200mm
工作溫度
0～1100℃
控溫精度
±1℃
控溫模式
30段或50段程序控溫
顯示模式
LCD
密封方式
304不銹鋼真空法蘭
法蘭接口
1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭
可抽真空
4.4E-3Pa
供電電源
AC:220V 50/60Hz
傾斜角度
0~15°
轉速
0~20轉
供
氣
系
統
產品型號
CY-3F
氣體通道
3通道
測量部件
氣體浮子流量計
測量量程
A通道：0～100ml/min H2氣
備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。
B通道：16～160ml/min N2氣
C通道：25～250ml/min Ar氣
測量精度
±2.0%
管道耐壓
3MPa
工作壓差
50～300KPa
連接管道
304不銹鋼
控制閥門
304不銹鋼針閥
接口規格
進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
排
氣
系
統
機械泵
旋片泵
抽氣速率
1.1L/S
排氣接口
KF16
真空測量
電阻規
極限真空
1.0E-1Pa
供電電源
AC:220V 50/60Hz
抽氣接口
KF16
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