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    三靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發的高性價比磁控濺鍍設備,具有標準化、模塊化、定制化的特點。該設備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介電薄膜、光學薄膜、氧化膜、硬薄膜、聚四氟乙烯薄膜等,三種靶材可以滿足多層或多層涂層的需要。與同類設備相比,三靶磁控濺射鍍膜儀不僅應用廣泛,而且具有體積小、操作方便等優點。它是實驗室制備材料薄膜的理想設備。
	
 
三靶磁控濺射鍍膜儀技術參數:
	 
	 
						項目 
					 
						明細 
					 
						產品型號 
					 
						CY-MSH325X-DCDCRF-SS 
					 
						供電電壓 
					 
						AC220V,50Hz 
					 
						整機功率 
					 
						6KW 
					 
						系統真空 
					 
						≦5×10-4Pa 
					 
						樣品臺 
					 
						外形尺寸 
					 
						φ150mm 
					 
						加熱溫度 
					 
						≦750℃ 
					 
						控溫精度 
					 
						±1℃ 
					 
						可調轉速 
					 
						≦20rpm 
					 
						磁控靶槍 
					 
						靶材尺寸 
					 
						直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm 
					 
						冷卻模式 
					 
						循環水冷 
					 
						水流大小 
					 
						不小于10L/Min 
					 
						靶槍數量 
					 
						3 
					 
						真空腔體 
					 
						腔體尺寸 
					 
						直徑φ325mm,高度600mm 
					 
						腔體材質 
					 
						SUU304不銹鋼 
					 
						觀察窗口 
					 
						直徑φ100mm 
					 
						開啟方式 
					 
						前面開啟 
					 
						氣體控制 
					 
						1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM 
					 
						真空系統 
					 
						配分子泵系統1套,氣體抽速600L/S 
					 
						膜厚測量 
					 
						可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ? 
					 
						濺射電源 
					 
						直流電源功率500W*2,射頻電源功率300W 
					 
						控制系統 
					 
						CYKY自研專業級控制系統 
					 
						真空計 
					 
						電阻規真空計 
					 
						設備尺寸 
					 
						1090mm×900mm×1250mm 
					 
						設備重量 
					 
						350kg 
					
		
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
		
	
					 
				
					 
			
 
	
    
    
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            