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    本設備為帶偏壓的桌面型單靶磁控鍍膜儀,可用于一般金屬薄膜的制備。設備同時配有偏壓電源,可以用來進行進行濺射前的等離子清洗和濺射過程中施加偏壓。
本套配置采用石英真空腔體,鍍膜過程全向可視,便于實驗的觀察記錄,腔體設計開啟方便,易于清理,十分適合實驗室使用。同時設備配有旋轉加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質量。整機采用模塊化設計,操作邏輯簡單,操作界面直觀,利于上手。
	
 
單靶磁控鍍膜儀技術參數:
	 
	 
						產品名稱 
					 
						桌面型偏壓單靶磁控濺射鍍膜儀 
					 
						產品型號 
					 
						CY-MSZ180PX-I-DC-Q 
					 
						樣品臺 
					 
						外形尺寸 
					 
						φ100mm 
					 
						加熱溫度 
					 
						≦500℃ 
					 
						可調轉速 
					 
						≦20rpm 
					 
						磁控靶槍 
					 
						配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm 
					 
						真空腔體 
					 
						腔體尺寸 
					 
						φ180mm X 215mm  
					 
						觀察窗口 
					 
						全向透明 
					 
						腔體材料 
					 
						高純石英 
					 
						開啟方式 
					 
						上蓋拆卸式 
					 
						真空系統 
					 
						前級泵 
					 
						低噪音雙極旋片泵 
					 
						分子泵 
					 
						低噪音大抽速渦輪分子泵 
					 
						真空測量 
					 
						復合真空計,量程:10-5~105Pa 
					 
						抽氣接口 
					 
						KF16 
					 
						抽氣接口 
					 
						KF40 
					 
						排氣接口 
					 
						KF16 
					 
						系統真空 
					 
						1.0×10-4Pa 
					 
						供電電源 
					 
						AC 220V 50/60Hz 
					 
						抽氣速率 
					 
						分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s   
					 
						電源配置 
					 
						電源數量 
					 
						射頻電源一套 
					 
						輸出功率500
					 
						 
					 
						其他參數 
					 
						供電電壓 
					 
						AC220V,50Hz 
					 
						整機功率 
					 
						2kW 
					 
						整機尺寸 
					 
						550mm X 350mm X400mm 
					
		
			
 
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					500W
				 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
		
	
					 
				
					 
			
	
    
    
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            