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等離子清洗機(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的.
等離子清洗機技術(shù)參數(shù)：
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主要部件 |
指標(biāo)名稱 |
參數(shù)指標(biāo) |
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清洗倉體 |
清洗倉材質(zhì) |
不銹鋼 |
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清洗倉尺寸 |
直徑120mm |
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高頻電源 |
電源特性 |
該電源為自主研發(fā)40K高頻電源，結(jié)構(gòu)可靠，性能強大。 |
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電源優(yōu)勢 |
●可長時間正常運行 ● 電源效率高、發(fā)熱少 |
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射頻功率 |
0~500W連續(xù)可調(diào) |
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信號頻率 |
40kHz |
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功率穩(wěn)定度 |
±0.1% |
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冷卻方式 |
強制風(fēng)冷 |
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氣體測量 |
測量部件 |
浮子流量計 |
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氣體通道 |
兩通道 |
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A通道量程 |
10～100ml |
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B通道量程 |
16～160ml |
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真空獲取 |
真空測量 |
電阻式真空計 |
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真空抽取 |
雙極旋片泵 |
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抽氣速率 |
50Hz時為：1.1L/s；60Hz時為：1.3L/s。 |
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真空量程 |
1Pa～100000Pa |
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極限真空 |
1Pa |
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電機噪音 |
0 |
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管道接口 |
進氣口：KF16;排氣口KF16. |
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連接管道 |
KF16真空波紋管 |
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電機功率 |
400W |
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其它 |
供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
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整機功率 |
800W |
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使用溫度 |
-10℃ -- 40℃ |
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工作真空 |
≤40Pa |
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整機尺寸 |
600mmX500mmX350mm |
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整機重量 |
50kg（含包裝） |
等離子清洗機應(yīng)該領(lǐng)域：
等離子清洗處理可去除納米級污染并改變表面化學(xué)性質(zhì)，而不會影響散裝材料的性能。等離子清洗處理在接近環(huán)境溫度下進行，從而將熱敏材料損壞的風(fēng)險降至*低。根據(jù)所使用的工藝氣體和工藝條件，等離子清洗處理可用于清潔，活化，**和表面改性，可應(yīng)用于各種材料以及復(fù)雜的表面幾何形狀和各種應(yīng)用領(lǐng)域，包括材料科學(xué)，聚合物科學(xué)，生物醫(yī)學(xué)材料，微流體，光學(xué)，顯微鏡，牙科，醫(yī)學(xué)研究，精密元器件包含半導(dǎo)體、晶體、電阻、電容、PCB板、IC芯片、接插件、硅片、三極管、電子線路板、電腦主板、壓電陶瓷基片、顯像管等電子器件生產(chǎn)加工過程工序間的清洗。
金屬：去除金屬表面的油脂,油污等有機物及氧化層；
汽車制造：用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理；
紡織品生產(chǎn)：用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理；
生物醫(yī)療：培養(yǎng)皿提高活性，血管支架，注射器，導(dǎo)管和各種材料的親潤，交合涂覆前處理；
航空航天：絕緣材料，電子元件等表面涂覆前處理；
電子：線路板的清洗和蝕刻。膠片，PP等材料的無氧化和活化處理，改進可焊性；
半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓加工及處理去除光刻膠，封裝前預(yù)處理；
LED：支架清洗封裝前預(yù)處理；
塑料橡膠：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷
