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真空等離子清洗機產品原理：
等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。
1、控制單元：
控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。
而控制單元又分為兩個大的部分：1）電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的，而2.45GHz又稱為微波等離子。2）系統控制單元：分三種，按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）。
2、真空腔體：
真空腔體主要是分為兩種材質的：1）不銹鋼真空腔體，2）石英腔體。
3、真空泵：
真空泵種類較多，其選擇會根據用戶的真空度要求、體積要求來配置。
真空等離子清洗機技術規格：
主要部件
指標名稱
參數指標
清洗倉體
清洗倉材質
高純石英
清洗倉尺寸
直徑100mm;長度270mm
射頻電源
電源特性
該電源為全固態射頻電源，采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件，使產品的可靠性得以保證。
電源優勢
●可長時間正常運行
● 電源效率高、發熱少
射頻功率
0~100W連續可調/0~150W連續可調
信號頻率
13.56MHz ±0.005%
反射功率
≤100W
功率穩定度
±0.1%
射頻接頭
N型頭
整機效率
≥75%
諧波分量
≤-50 dBc
冷卻方式
強制風冷
氣體測量
測量部件
浮子流量計
氣體通道
兩通道
A通道量程
10～100ml
B通道量程
16～160ml
真空獲取
真空測量
數字真空計（電阻規）
真空抽取
雙極旋片泵
電機轉速
50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。
抽氣速率
50Hz時為：240L/Min；60Hz時為：288L/Min。
真空量程
0.1Pa～10000Pa
極限真空
0.5Pa
電機噪音
≤56dB
管道接口
進氣口：KF16;排氣口KF16.
連接管道
KF16真空波紋管
真空閥門
KF16球閥
電機功率
400W
其它
供電電源
AC220V 50/60Hz
整機功率
550W/600W
使用溫度
工作真空
≤40Pa
整機尺寸
540mmX500mmX440mm
整機重量
58kg（含包裝）
● 操作簡單靈活
● 具有完善的反射功率保護功能
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