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    一、技術特點:
1.多達六路探頭可同時監控,每路自由設置,既能獨立運行,也可聯合工作。
2.每路二組繼電器輸出,到達設置厚度自動關閉擋板/蒸發源;
3.全觸摸屏操作顯示,簡單易用;
4.提供RS232/RS485接口,MODBUS RTU標準協議,多波特率可選,并配有專用控制軟件。
二、應用范圍:
適用于普通蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量,特別適合多蒸發源鍍膜機和多腔室鍍膜機進行膜層監控;
膜厚監控儀的控制和顯示均通過觸摸屏實現,使您能獲取完整的沉積數據,包括速率、厚度和鍍膜時間等。
三、主要參數:
	 
	 
							CY-FTM-M4/M6多通道監控儀
						 
							晶振頻率
						 
							 6MHz(可選2.5M 3M 5M 9M晶體)
						 
							顯示方式
						 
							5”彩色觸屏+1路數碼管顯示速率和實厚
						 
							操作方式
						 
							 觸摸屏
						 
							厚度顯示范圍
						 
							0-99μ9999?
						 
							厚度實際分辨率
						 
							0.1?(鋁)
						 
							厚度顯示分辨率
						 
							1?
						 
							速率范圍
						 
							0-999.9?
						 
							速率顯示分辨率
						 
							0.1?/s
						 
							鍍膜層數
						 
							99層
						 
							探頭輸入
						 
							4路/6路(可同時工作)
						 
							工具因子
						 
							0.01-99.99
						 
							材料存儲
						 
							257+自定義10種
						 
							通 訊
						 
							RS232/RS485  MODBUS
  RTU協議
						 
							擋板/源控制
						 
							每路2組觸點,到達厚度關擋板/蒸發源
						 
							鍍膜顯示
						 
							數值/速率曲線
						 
							鍍膜巡回次數
						 
							0-99
						 
							機箱尺寸
						 
							480×250×89mm(2U
  19”機箱)
						
			
				
	
					 
				
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
				
						 
					
						 
				
					 
			
		
						 
					
						 
				
四、特殊功能:
(1)任意設置每一路的工作狀態,具有人工停止鍍膜功能;
(2)可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比;
(3)顯示鍍膜結束后的監測厚度、晶振頻率、材料和層次。
    
    
                            
                            
                            
                            
                            
                            