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15KW 2000℃溫度可控型感應加熱爐
技術參數：
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產品名稱 |
15KW 2000℃溫度可控型感應加熱爐 |
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產品型號 |
CY-IV216-15KW-Q |
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主要特點 |
1、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。 2、設有自動水壓、過熱、功率過高保護系統。 3、溫控器采用PID方式控溫，可設置30段升降溫程序，設有過熱和斷偶保護功能。 4、配有防腐型真空計，當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類的不同進行系數轉換，量程可到3.8×10E-5 torr。 5、迷你型浮子流量計精度為4%。 6、配有雙級旋片機械泵（2L/s），可使石英管內真空度達到10E-2torr。 |
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感應加熱器 |
工作電壓 |
三相AC 380 V 50Hz（需60 A空氣開關） |
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工作電流 |
5Amps-52Amps（需100A空氣開關） |
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功率 |
*大輸入功率15KW |
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輸出頻率 |
30KHz-80 KHz |
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占空比 |
80% |
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感應線圈 |
內徑Φ220 mm，高65 mm |
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空氣冷卻 |
后風扇 |
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溫度控制器及熱電偶 |
工作電壓 |
AC208V-240V 單相 |
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控溫精度 |
±3℃ |
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熱電偶 |
C型，外徑Φ1/4″，長10″ |
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連續工作溫度范圍 |
1000℃-2000℃ |
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*大升溫速率 |
4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃） |
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石墨坩堝（易耗件） |
高純石墨坩堝 |
外徑Φ114mm，內徑Φ100mm，高142mm |
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*大容量 |
樣品所占容積應為石墨坩堝容積的1/2，*大質量為4kg（以鐵標定） |
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保溫層 |
石墨坩堝外環繞三層隔熱材料，從內至外分別為石墨氈（可耐溫2200℃）-氧化鋁（可耐溫1700℃）- 高溫氈，總厚度為32mm
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石英管和密封法蘭 |
石英管 |
兩端開口，外徑Φ216mm，內徑Φ208mm，長500mm |
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頂部法蘭 |
采用不銹鋼折疊式法蘭，裝有防腐型真空計、不銹鋼截止閥，設有1個1/4″的鎧裝接口（可插入熱電）偶至石英管內部，更準確地測量樣品溫度 |
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底部法蘭 |
設有KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接 |
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水冷機
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溫度 |
5℃-30℃ |
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水流速 |
>16L/min |
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水箱容積 |
12L，采用不銹鋼制作 |
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水壓 |
≥0.1MPa |
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流量 |
≥5L/min （建議使用特定的冷卻劑液以達到*佳的冷卻效果） |
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真空泵 |
工作電壓：AC208V-240V單相 |
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移動爐架 |
尺寸：700mm×1000mm×700mm，鋼框架結構，方便移動感應加熱器和帶法蘭的石英管 |
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注意事項 |
操作前，必須仔細閱讀說明書，且操作人員需帶防護面罩。使用時，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動氬氣下進行， 流量小于200ml/min，需始終保持石英管內的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內的氣壓，若氣壓超 過**值，會引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造**身傷害。 |
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其他事項 |
本機可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學氣相沉積（HPCVD）系統。 |
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