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此款多功能鍍膜儀是一臺(tái)小型臺(tái)式鍍膜儀，外形小巧，操作便捷，設(shè)有真空表，濺射電流表等，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。通過調(diào)節(jié)電離氣體和鍍膜儀參數(shù)，可獲得良好的鍍膜效果。由于既可進(jìn)行等離子鍍膜，又可進(jìn)行熱蒸發(fā)鍍膜，為廣大客戶所歡迎，并受到好評(píng)。
多功能鍍膜儀技術(shù)參數(shù)
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型號(hào) |
CY-1100X-SPC-16C |
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靶材直徑 |
50mm |
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樣品臺(tái)直徑 |
50mm |
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真空腔體尺寸 |
φ160*110mm |
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真空度 |
10Pa~10-3Pa |
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Max電流 |
50mA |
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Max設(shè)置時(shí)間 |
9999s |
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工作電壓 |
直流1600V，可調(diào) |
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真空泵 |
雙極旋片真空泵：10—100Pa 渦旋分子泵系統(tǒng)：10-3Pa |
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電源電壓 |
220V 50Hz |
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總功率 |
＜2000W |
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蒸發(fā)鍍膜*高溫度 |
1100℃ |
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熱電偶 |
S型熱電偶 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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鎢絲籃 |
2個(gè) |
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真空接口 |
KF25 |
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顯示器 |
LCD觸摸屏 |
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膜厚監(jiān)測儀（選配） |
電源：DC5V 工作電流400mA 膜厚分辨率：0.0136埃米 膜厚準(zhǔn)確度：±0.05%，取決于過程條件 測量速度：100ms-1s每次，可調(diào) 標(biāo)準(zhǔn)傳感晶體：6MHz石英 |
